【TechWeb】9月11日音尘，据外媒报说念，在5nm和3nm制程工艺上，台积电和三星电子从阿斯麦采购了广宽的极紫外光刻机，而跟着制程工艺的升级，台积电和三星电子也需要购买更先进的光刻机，在2nm以下的制程工艺上，就需要高数值孔径极紫外光刻机。

而外媒最新征引半导体产业内的音尘报说念称，在晶圆代工领域份额遥遥卓绝的台积电，将在月底从阿斯麦接受首台高数值孔径极紫外光刻机。

阿斯麦官网公布的音尘夸耀，他们的高数值孔径极紫外光刻机，将定名为EXE系列，数值孔径将由0.33增至0.55，用于2nm及以下的制程工艺。在此前所发布的财报中，阿斯麦曾经透露他们的EXE系列高数值孔径极紫外光刻机，已有TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200两个型号，前者在2018年就已驱动取得客户的订单，后者在2021年四季度也取得了首台订单。

从外媒的报说念来看，台积电月底从阿斯麦接受的首台高数值孔径极紫外光刻机，是TWINSCAN EXE:5000型号。

诚然外媒在报说念中称台积电月底就将从阿斯麦接受首台高数值孔径的极紫外光刻机，但他们也提到，台积电是决策在1.4nm制程工艺上驱动遴荐这一类的光刻机，他们的1.4nm制程工艺决策在2027年量产。

在1.4nm制程工艺量产前近3年就驱动接受高数值孔径的极紫外光刻机，也将给台积电这一制程工艺的研发及后续大畛域量产带来便利，进而取得可不雅的订单，在阛阓份额上赓续卓绝。

在报说念中，外媒也提到到了阿斯麦高数值孔径极紫外光刻机的售价，每台约3.84亿好意思元。

在高数值孔径极紫外光刻机上，阿斯麦前CEO兼总裁彼得•维尼克2022年的11月份曾知道，将在2024年驱动出货，每台的价钱在3亿到3.5亿欧元。（海蓝）

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