半导体产业园技俩的修复，内容触及层面极端庸碌，各设施的具体研究内容值得技俩决策东谈主员实时刻管事东谈主员深刻探讨，研究的实在性、科学性、稳妥性是技俩修复成败的要津，而对这几方面的科学分析决策的可行性研究报告是技俩修复的遑急基础文献。本文对半导体产业园可行性研究报告编制中的中枢问题进行探讨，从产业园的定位到选址再到总体布局，进行功能上和产业链的讨论分析；同期针对半导体的寥落工艺需求，对单体厂房的想象和配置衔尾本色案例张开研究。

一、要津问题的提议

1.1　产业园的选址问题

拟建工程选址相宜上位讨论对工业技俩用地的要求，顾惜邻近区域交通运输便利性及合感性，况且可计划分享和欺诈区域内的公用工程设施及水电等能源供应。技俩的原料资源及办法市集是决定技俩范畴大小以及技俩的可行性的决定性因素。厂址选择应充分计划安全间距、运输流畅及产物市集发展的需要等要素条目, 突出庄重集成电路的晶圆车间一般对防微震有较高的要求，往往要消灭高架等对厂房有影响的市政谈路等。

1.2　产业园的定位及入园企业的选择问题

半导体产业细分市集蕃昌，大的方面包括从原材料出产、晶圆制造、封装、卑劣应用等，细分的又有分立器件、传感器、集成电路等等。怎样细目园区和入园企业定位，关系到后头招商引资、技俩落地，并最终影响总共产业链的健康发展。

1.3　产业园总体布局配置问题

由于在半导体园区初期，入园企业未细目，应综觉得划厂区内功能布局，衔尾出产生涯需求进行配置并预留出相应的配套设施的空间，同期关于需寥落计划的市政安全要素进行专题分析，举例废水站、化学品库。

1.4　产业园单体厂房想象问题

半导体厂房因其制程工序较多，洁净度要求较高，有较多的管线，因此对厂房的模式和层高有较高的要求，包括每层的面积、层高、柱网、荷载等，均需进行妥洽的计划以保证后续餍足不同的半导体企业入驻的需求。

1.5　产业园能源站配置问题

半导体技俩所需的支合手系统种类蕃昌，公用工程一般指为主体工艺提供电、冷热源、纯水系统、特气系统、巨额气体系统、排风系统、轮回冷却水系统、排水系统、消防系统等的能源工程。

二、要津问题搞定决策探讨

2.1　产业园的选址

半导体产业所需使用的化学品主要包括其主材举例硅片、化合物半导体、掩膜版、抛光材料等，高纯化学品举例光刻胶蚀刻液等，不外由于先进制程半导体的技俩所需的原材料一般不是进口便是少许的国产替代，而且经过调研标明，其物料的供应范畴往往是相比大的，区别于一些农作物加工或者其他需要纠合原辅材料产地的行业（图1）。以技俩为例，举例高纯化学品的厂商主要散布于江浙，而大硅片出产的举例中环散布于天津、内蒙古等地，因此半导体产业选址受制于原物料的程度较小。同期其产物运输也相干于其他行业对运输距离莫得太高的要求。

半导体园区选址受制于其电力水源的安全性，一般需要有两路进电和两路进水，半导体技俩停电将引起弘大的失掉，因此突出强调其电量大、要求用电可靠性高的特征，其用电负荷的性质主要为一、二级。如果选址所在位置惟有通盘供电，那落地企业就需自行加多柴油发电机或者UPS，加多企业的修复成本，同期对企业贯穿出产带来了不细目性。

另外，由于部分企业的防微震要求，尽量隔离高架振荡相比高的地段，尽量搪塞产生振动的高速路、磁悬浮、机场要素进行规避，或与其保合手一定距离。其制程使用的危境化学品，往往对周围住户会有一定影响，因此需要保合手与周围住户区的卫生驻扎距离，举例某LED技俩延续会使用到氨气，阐明技俩的存量其半致死半径达300m。

图1　半导体芯片制造各工序所需材料 开头：中机院

2.2　产业园的定位及入园企业的选择

国内不少芯片科技企业得到两位数增长，部分红熟的龙头企业的产值和利润更是翻番式增长。如今本钱市集为半导体行业的发展提供了强有劲的复旧，但这个过程中同期也出现了一些值得警惕的气象：除了量的增长，半导体行业也发生了质的滚动，隆起表当今以下三点。第一，以集成电路装备为例，刻下国内超80%的市集份额依赖进口，尤其是光刻机对芯片制造“卡脖子”效应显著。第二，细分行业龙头上市，集成电路加快“补链”。第三，从芯片想象、制造、封装测试再到装备材料，集成电路产业链在这些头重脚轻紊的设施中还有不及，仍有一定程度的发展跨越空间。因此，半导体产业园的发展标的应对准我国半导体产业链的空缺设施。部分企业尽管出产产值不大、范畴有限，但只如果细分行业龙头，皆是园区积极引进的办法，半导体产业链如图2所示。

好多地区会对半导体产业进行专项讨论，会对引入的荆棘游企业的数目范畴阐明本色发展情况作出要求，这是技俩定位的基本依据。当地照旧有以集成电路芯片制造为龙头的企业，因此定位为当地集成电路进行补链的技俩，主要引入以孵化为主的中微型集成电路企业，以对该地龙头企业进行补链，同期对该市的产业链进行梳理，梳理出该市中缺失的配套荆棘游行业门类。在此基础上对这些门类进行进一步筛分，举例封装材料包括有：丹邦科技、上海新阳、康强电子；半导体检测：精测电子、苏试观测；洁净室：亚翔集成、新纶科技；覆铜板：生益科技、华正新材；电容：宏达电子、法拉电子、江海股份、艾华集团等等。

图2　半导体产业链图 开头：中机院

2.3　产业园总体布局讨论

半导体产业园讨论应修复促进半导体企业高效出产且得当东谈主才居住生涯的完善且合理的功能系统。一般可将产业园中的功能需求定位为产业功能和配套功能两大基础板块，通过这两大板块的合理建构，从位置到比例分派，形成产业园功能组成的基础。产业功能又不错通过主导产业和提拔产业的辩认，形成不同级别的功能配置；配套功能则要辩认好出产性配套和生涯性配套，为责任主谈主员的出产生涯需求提供高效稳妥的管事。

半导体产业园在出产性配套管事设施的完善度不错很大程度进步对企业的蛊卦力， 企业的快速成长、引发时刻翻新活力的空间创建要基于高行动、高品性、高效使用的出产性配套管事设施。园区总平面交代应试虑合理安排东谈主流、物流阶梯，减少流线交叉，合理布局，以笔者技俩为例，半导体产业园会可分为三大区域：出产区、研发区域、生涯区。

出产区主要由厂房组成，位于地块中部一字排开交代。每个厂房占地约2000～4000m2，厂房大小搭配餍足企业的机动租出，在相宜使费力能、操作要乞降出产经由的情况下，可通过连廊结伴，以多层麇集的神色交代。一般集成电路技俩全体范畴皆较大，出于对产物爬坡的计划，一般大型集成电路厂要分期修复, 要对市集开发、技俩办法、金融神色等进行论证，从而细目技俩分期开发面积，合理讨论总平面图，细生分产与生涯的分期开发比例。产业园要计划到孵化及企业的成长，在一些创立初期的有后劲的企业，厂房的面积配套也应有各式机动的配套神色，不错阐明本色需求赐与寥落的战略热心，以进步对企业的蛊卦力，鼓吹产业的翻新发展，形成更合理的讨论想象和分期开发模式。

集成电路产业是东谈主才密集型产业，应该积极兑现产城交融，餍足东谈主才的居住需乞降丰富的生涯管事设施的配备，以免形成钟摆式交通流对城市交通产生较大职守以及出现夜间空腹化气象。同期也幸免园区环境惟有单调的厂房环境而莫得丰富的生涯环境气味，显得单调乏味，莫得活力。因此，除了园区邻近最佳有城市的生涯管事配套以外，园区本身建议配置一定比例的生涯管事功能。居住配套和其他功能管事配套应便于研发办公东谈主员的使用，要纠合主要东谈主流出进口，与邻近城镇和居住区磋议便利，且应位于园区全年最小频率风向的下风侧。半导体产业园出产性配套功能关于专科产业时刻平台的建立需求越来越高，创建平台不错起到裁汰企业的初创成本和计议风险的积极及高效的作用。平台为集成电路初创企业提供市集开发、金融投资、地盘整备等方面提供时刻复旧，也提供抽象想象扣问、产业链设施讨论、开采分享、东谈主才引入等专科性内容。同期在平台上，各企业还能发起学习不异和教师培训的关系课程和行为。计划地块沿街面的视觉着力，且与邻近的交易管事相呼应，将研发区域置在地块视觉着力好的位置体现园区的高技术性。

园区交通需计划东谈主车分流设立多个出进口，并充分计划远期的修复要求，高效合理地组织货流和东谈主流之间的关系，运输流露的讨论应相宜旅途短捷、物流运动、不产生折返的想象原则。园区内积极践诺东谈主、货分流，以幸免运输蜿蜒的货流对东谈主员相差的禁绝，进而形成一个高效且以东谈主为本的园区环境。同期要幸免相差园区的主要货品流线与园区邻近的城市谈路主线产生流线交叉而影响城市交通。

园区内骨干谈宽应呈环形，主要围绕主厂房及仓库，为园区的主要通谈，宽度7米及以上，生涯区谈路宽度为7m，谈路面层均秉承混凝土路面。另外为餍足运输和消防要求，在主要建筑邻近均需设立4m宽的环形通谈。园区的小汽车泊车位散布在生涯区及研发中心性下室，应为麇集泊车，便捷料理。

2.4　产业园单体厂房想象

集成电路出产中想象触及到原辅料、制品等性质，技俩厂房东体需秉承丙类出产类别、二级耐火品级讨论。因此为了提高地盘的使用着力，又便捷厂房的出产工艺平面的交代，园区讨论厂房的建筑想象中以矩形平面为主。况且多层丙类二级电子工业厂房需要进行自喷想象，因此每个防火分区的建筑面积应王法在8000m2以内，王法单层面积在8000m2以内。同期要衔尾园区的孵化定位，以笔者之前作念的技俩为例，由于所以补链为主，因此入驻企业范畴主如果中小半导体工业制造企业，为了加强蓄积效应的上风，不错共同租用电子工业行动厂房，将故意于鼓吹公用设施开采的分享，裁汰出产成本，提高空间的使用着力。

由于对出产环境洁净度要求较高，需设立FFU系统，有复杂的管谈交代。充分的层高为能源管谈交代预留空间，提供改良空间。底层想象层高相对较高，不错适合二次安设开采和物流运输需求，有助于有寥落出产要求的厂家的选择和入驻。由于产业园的企业的不细目性，为了不变成滥用，因此只对一层进行举高，层高7米多，其余层餍足大部分半导体企业的出产要求，大致5～6米不等。另外需包括建筑的防火分区、疏散、节能，给排水的消防池塘水泵房、室外消火栓管网、喷淋管网，并尽可能预留暖通、电气的管井及屋面的冷却塔、废气塔位置，保证后期集成电路洁净厂房践诺不必大的变动，充分保留进驻企业的改良空间，裁汰洁净装修成本。

半导体工业厂房的柱网交代往往要餍足出产和使用，并计划远期出产工艺升级或产物变更后的工艺要求变动，同期要餍足经济合理。半导体行业往往出产制程需要餍足洁净要求，因此厂房柱网想象的同期还需要细目变形缝的位置和作念法。一般工业厂房使用的柱距模数为3m，因此一般工业厂房想象的柱跨为6m、9m、12m。半导体产业园由于要餍足不同企业的使用需求，太小的柱跨不利于远期的发展，且王法了工艺布局，同期要保证其经济合感性，因此宜秉承经济柱跨8m×9m。

半导体厂房的建筑层数常见为3～4层，楼面使用荷载10.0～15.0kN/m2。制品暂存库活荷载行动值10.0～15.0kN/m2，能源区活荷载行动值20.0kN/m2，上东谈主屋面为2.0kN/m2，屋面冷却塔等开采区域活荷载行动值10.0～20.0kN/m2。同期在厂房的边跨预留有能源区的荷载，其余区域按妥洽的出产区预留即可。

2.5　产业园能源站配置

一般园区修复实行妥洽讨论、妥洽给水、妥洽供电、妥洽供气、妥洽治污，进一步提高资源的欺诈着力，集约出产、裁汰出产成本，积极增强产物的竞争力。而半导体厂由于其出产的寥落性，且厂务系统蕃昌包括纯水、特气、巨额气体、供电、送回风、冰水、蒸汽、尾气处理等等，另外还要保证其系统启动的厚实，且需要企业对其启动数据的守秘等计划，一般皆会自行配置其能源。

半导体产业园的废水一般因素较为复杂，废水种类较多，举例含氮、含氨、有机废水、含磷废水等，企业的预处理往往够不上市政的废水纳管行动，因此当地浑水处理厂修复讨论、浑水吸收智力及目的、修复进程是浑水系统想象前期的遑急研究内容。浑水处理范畴的大小要阐明当地的具体情况细目，进而细目排污目的是一级照旧二级或者三级，确立浑水处理设施。秉承妥洽的纳管行动，设立园区的麇集废水处理站餍足环保法则的要求，保证技俩的获胜开展，举例笔者所参与技俩即进行全体的废水处理站的设立，以餍足后期企业废水的加多。

由于半导体使用的化学品种类蕃昌，大的分类即有酸、碱、有机、氧化性、毒性等等，如果将其储存于厂房的中间仓中，需要分割的储存房间较多且需要配置相应的消防及安全措施，且难以餍足建规贮存一日夜的要求；同期半导体企业大部分使用的为易燃易爆的化学品，其仓库为甲乙类建筑，如果在厂区内每家企业单独设立，需餍足防火间距和防爆的需求，变成厂区的地盘欺诈率较低。因此产业园区麇集设立，并租出给企业使用，妥洽料理，会大大裁汰企业成本并保证其储存的安全性。

三、结语

半导体产业园技俩的修复触及层面极端庸碌，各设施的具体研究内容需要技俩决策东谈主员实时刻管事东谈主员深刻探讨，研究中的实在性、科学性、稳妥性是技俩修复成败的要津。可行性研究报告是修复的遑急基础文献，本文对半导体产业园可研报告的主要问题提议了意见，但在具体想象中还需要修复方阐明处所本色情况、企业的投资办法和实力、修复技俩的周期筹算等本色情况，与可研报告编制方共同研究和协商，将因地制宜算作想象原则，在想象中强调机动分析和优化。最终不错匡助技俩修复中的时刻层面上减少变更、审批办理中更为高效，更好地管事落地企业，为产业园的获胜投产运营等提供有益参考。（作家：郭东红）

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